바이오나노학부 나노 공학실험 보고서 CFL Capillary Force Lithography
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작성일 20-09-12 07:26
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그 결과 imprint의 뛰어난 패턴 형성과 압력을 가할 필요가 없는 microcontact의 長點을 동시에 갖는다. 이 방법에는 약간의 단점이 존재하는데, 이 단점을 극복하기 위해 Solvent-assisted microcontact molding이 개발되었다. 고분자는 PS를 사용하였다. 그리고 패턴을 형성하는 과정에서 고분자의 얇은 층 이 직접 노출이 되기 때문에 후에 etching을 할 필요가 없다는 長點을 가진 다. oven에서 굳이는 과정중에 위로 …(省略)
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바이오나노학부 나노 공학실험 보고서 CFL Capillary Force Lithography
실험결과/기타
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다.
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나노 Engineeringtest(실험) report
Capillary Force Lithography
바이오나노학부
1. Introduction
- 이번 test(실험) 의 목적은 고분자의 pattern을 만드는 것이다. 단순히 Mask를 놓고 찍어내는 방식이 아니라 고분자의 capillary force를 이용해서 넓은 범위의 pattern을 나타낼 것이다.
PDMS mold를 Master위에 올려놓을 때 PDMS의 자체적인 wetting의 성질이 있지만 작은 흠이나 기포가 생기지 않도록 주의해야한다.
2. test(실험) theory
- Elastomeric mold로서 PDMS를 사용하였다. Capillary force는 고분자 patterning에서 중요한 定義(정이) 이 된다 액체가 모세관을 적시면, 낮은 Gibbs free energy를 가지게 된다 이 wetting이 Capillary를 일으킨다고 할 수 있따 대표적인 방법이 micromolding in capillary 이다.
이 CFL은 한마디로 열을 가해서 고분자의 유동성을 유발하는 nanoimprinting과 microcontact printing의 결합 형태이다. 이는 substrate에 두꺼운 polymer layer를 형성하여 elastomeric mold(탄성체 주형)에 용매를 wetting 하여표면에 thin layer만 패턴을 형성하는 방법이다.
