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작성일 20-11-30 11:37

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SEM은 고체 상태에서 작은 크기의 미세 조직과 형상을 observation할 때 널리 쓰이며, 1965년 최초로 상품화된 후 초점 심도가 대단히 깊고 3차원적인 영상의 observation이 용이해서 광학현미경으로 불 수 있는 것보다 복잡한 표면구조 나 결정 외형 등의 입체적인 형상을 높은 배율로 observation할 수 있는 分析(분석) 장비이다. 에탄올이 모두 마르게 한 후, 시료를 시료대에 카본테이프를 이용해 고정한다.

3. Result and Discussion - 반드시 graph를 포함(x축-첨가제 량 /y축-mean(평균) grain size)

첨가제의 농도
wt%LiF+wt%ZnF2
mean(평균) grain size(um)
0.…(To be continued )
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다. 활용도도 매우 다양해서 금속 파편, 광물과 화석, 반도체 소자와 회로망의 품질 검사, 고분자 및 유기물, 생체 시료와 유가공 제품 등 전산업 영역에 걸쳐 있다

2. Experimental Procedure - SEM 을 찍기 위한 sample 제작 방법
SEM 측정(測定) 을 위해 에탄올 등을 이용해서 시료와 시료대를 깨끗이 클리닝한다. SEM은 상부에 위치한 E-Gun의 Filament로부터 전자빔이 방출되어 각각의 components를 지나 시료에 전자 빔이 조사되고 시료에 조사된 전자 빔과 시료에서 reaction(반응) 및 반사되어 나오는 각 전자를 검출기가 검출하여 이미지로 만들어 낸다.

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실험결과/재료

재료공학기초실험. SEM
-SEM 을 통한 미세구조 observation

1. Backgrounds - SEM 의 원리 및 활용
주사 전자 현미경(SEM)은 말 그대로 주사 전현의 상(Scanning Electron Microscope)을 화상으로 볼 수 있는 장치를 뜻한다. 시료대를 금, 백금, 등을 이용해 10~15nm코팅을 시킨다. 시료에서 reaction(반응)되어 나오는 전자들은 표면에서부터 30nm깊이에서 나오는 이차전자와 30nm~300nm사이에서 나오는 후방산란전자가 나오며 이를 검출하여 이미지화한다. 카본테이프를 이용하는 이유는 시료에 전자를 흘려줄 공간을 마련하고 이물질이 남지 않기 하기위해서이다.

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