[Engineering기술] 리소그래피Lithography
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작성일 20-04-03 09:18
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세계 최고속 원자힘 현미경(AFM) 리소그래피 시스템 개발
□ 과학기술부 21 세기(世紀) 프론티어 연구개발사업으로 추진중인 테라급 나노소자개발사업단(단장 : 이조원)의 한양대학교 이해원 교수 연구팀은 원자힘 현미경(Atomic Force Microscope) 리소그래…(drop)
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리소그래피 [ Lithography ]
집적 회로 제작 시 실리콘칩 표면에 만들고자 하는 패턴을 빛으로 촬영한 수지를 칩 표면에 고정한 후 화학 처리나 확산 처리하는 기술. 이 기술의 key point(핵심) 은 짧은 파장의 빛을 사용하여 정밀도를 높이는 것으로, 처음에는 가시광선, 자외선을 사용했으나 최근에는 전자 빔을 사용해 더 미세한 패턴을 만든다.
